דֶגֶם
WN02FA
תכונות עיקריות
ציר Y נסיעה מקסימלית
12 מ"מ
ציר Z נסיעה מקסימלית
6 מ"מ
סטיית זווית
<100 מיקרומטר
כושר העמסה
2.3 ק"ג
גובה ציר אופטי
79 מ"מ